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蘇州半導體晶圓等離子清洗機
產品簡介:

蘇州半導體晶圓等離子清洗機原理:通過對工藝氣體施加電場使之電離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括:離子、電子、原子、自由 活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質來氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,從而優化材料表面性能,實現清潔、改性、刻蝕等目的。

產品型號:

更新時間:2025-07-29

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :310

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產品介紹


提高材料的導電性能:等離子清洗后的材料表面,能夠去除表面的雜質和氧化物,從而提高材料的導電性能。

等離子清洗機廣泛應用于各個領域,如:

- 電子行業:提高電子元器件的附著力和導電性能。

- 汽車制造:提高汽車零部件的耐腐蝕性和附著力。

- 醫療器械:提高醫療器械表面的無菌性和生物相容性。

- 航空航天:提高航空航天器材的表面性能和耐腐蝕性。

總之,等離子清洗機是一款非常實用的設備,能夠大大提高產品的質量和性能

真空等離子主機

設備尺寸

L1000×W900×H1750mm

重量

500Kg

需求電源

AC380V,50/60Hz,5線,30A

等離子發生器規格

電源功率

射頻

中頻

0~600W

0-1000W

電源頻率

13.56MHz

40 KHz

真空系統

真空泵

飛越雙級旋片泵(油泵):60m3/h

真空管路

全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管

材質

鋁合金

厚度

25mm

密封性

軍工級焊接密封

腔體內部尺寸

450×450×500mm(寬×高×深)

電極板有效尺寸

410×400mm(寬×深)

可用空間間距

100mm

電極板布置方式

豎直電極板

工作托盤

標配一套,材質可選配(鋁材、304不銹鋼

工作空間

2 6個空間

工藝氣體

流量范圍

0~300SCCM

工藝氣體氣路

標配兩路,可定制

控制系統

系統控制

PLC

交付方式

7寸觸控屏幕



等離子清洗機原理:通過對工藝氣體施加電場使之電離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括: 離子、電子、原子、自由 活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質來氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,從而優化材料表面性能,實現清潔、改性、刻蝕等目的。


蘇州半導體晶圓等離子清洗機

在等離子清洗機中,攝像頭模組被放置在清洗室中,通過等離子體的作用,將模組表面的污垢和有機物分解成無害的氣體和水。由于等離子體的高能量,清洗效果非常明顯,可以將模組表面的污垢和有機物去除,使其恢復原有的光潔度和透明度。同時,等離子清洗機的清洗過程非常快速,可以在短時間內完成清洗,提高生產效率。

廠務規格要求

廠務規格要求

交流電源規格

電源:AC380V,50/60Hz,5線,16A

廠務排氣

流量:2.0 m3/min

廠務工作氣體要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:6×4 mm

材質:PU管

純度:99.99%以上

廠務壓縮空氣要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:8×5 mm

材質:PU管

露點:-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft3

除了普通的等離子清洗機外,還有一種寬幅等離子清洗機,可以同時清洗多個攝像頭模組。寬幅等離子清洗機采用連續清洗的方式,可以在一次清洗中同時清洗多個模組,提高了清洗效率和生產效率。同時,寬幅等離子清洗機還具有自動化控制系統,可以實現全自動清洗,減少人工干預,提高清洗質量和穩定性。





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